Custom High Purity Flanged Quartz Tube Project Case fused Silica Tube met geïntegreerde flens voor halfgeleider CVD Tube Furnace Vacuum Reactor-sara

Gepubliceerd op: June 22, 2026

Projectcase: op maat gemaakte, zeer zuivere, van een flens voorziene kwartsglasbuis

Casusoverzicht

Deze casus heeft betrekking op de op maat gemaakte batchproductie van kwartsbuizen met flens voor een buitenlandse fabrikant van halfgeleiderapparatuur. De klant had voor zijn CVD-reactiekamer en hoge-temperatuur-gloeioven hoog-afdichtende, hittebestendige buizen van gesmolten silica met geïntegreerde kwartsflenzen nodig. We hebben volledige one-stop-aanpassingen geleverd, inclusief buismaat, lay-out van de flensboutgaten, wanddikte en spanningsontlating bij hoge temperaturen, waardoor hun al lang bestaande problemen van pijpleidinglekkage, hoge onzuiverheidsvervuiling en veelvuldig barsten van de buis tijdens thermische cycli werden opgelost.

Pijnpunten van klanten vóór samenwerking

Originele borosilicaatglaspijpen zijn vervormd bij een werktemperatuur boven 900 ℃, waardoor lekkage van de flensverbindingen en een onstabiele vacuümomgeving ontstond.
Gewone gelaste kwartsbuizen zonder uitgloeien barsten gemakkelijk na herhaalde koude en warme cycli, hoge vervangingskosten en verlies van productie-uitval.
Ongecontroleerde maattolerantie van flenzen, slechte afstemming met de metalen afdichtingsarmaturen van de klant, laag verwerkingsrendement.
Kwartsgrondstof met een lage zuiverheid bracht verontreiniging met metaalionen met zich mee, wat de precisie van de wafelverwerking beïnvloedde.

Onze op maat gemaakte kwartsflensbuisoplossing

Materiaalkeuze: gebruik 99,99% synthetisch, zeer zuiver gesmolten silica met een laag hydroxylgehalte, geen metaalonzuiverheden, compatibel met ultraschoon halfgeleiderproces.
Geïntegreerde heetlasflens: Integraal gesmolten kwartsflens aan enkele/beide uiteinden van het buislichaam, zeer sterke lasnaad, volledig uitgegloeid om interne spanning te elimineren, thermische schokken te weerstaan.
Precisie CNC-bewerking: aangepaste buitendiameter, wanddikte, buislengte, buitendiameter flens, positie van boutgat en opening met strikte tolerantie ± 0,02 mm.
Oppervlaktebehandeling: Vlamgepolijste binnen- en buitenbuiswand, glad zonder luchtbellen, krassen of microscheuren, uitstekende UV- en zichtbare lichtdoorlatendheid.
Structurele aanpassing: ondersteuning van enkele flens, dubbele flenzen, gesloten koepelbodem, dikwandige, hogedrukbestendige structuur volgens de tekeningvereisten van de klant.

Levering en feitelijk werkingseffect

We voltooiden de monsterbevestiging, proefbestelling en massaproductie binnen 12 werkdagen, voltooiden de volledige dimensionale inspectie, verouderingstest bij hoge temperatuur en vacuümdichtheidstest vóór verzending.

Na installatie door de klant en langdurig continu gebruik:

Geen lekkage onder hoogvacuüm en continue werktemperatuur van 1150 ℃;
Geen barsten na meer dan 100 thermische cyclustests, levensduur ruim drie keer verlengd;
Geen onzuiverheidsprecipitatie, opbrengst aan wafelproduct verbeterd met 16%;
De standaard flensmaat paste perfect bij de bestaande klem- en afdichtingsonderdelen van de klant, waardoor de montagetijd van de apparatuur aanzienlijk werd verkort.