October 18, 2025
Groot-diameter kwartsglazen buizen verwijzen meestal naar die met een buitendiameter van meer dan 100 mm, en zelfs tot 500 mm of groter. Vanwege hun unieke fysische en chemische eigenschappen hebben ze onmisbare toepassingen in veel high-end industriële en technologische gebieden.
Lianyungang Shengfan Quartz Product Co.,Ltd is een professionele fabrikant van kwartsproducten,kan maatwerk ondersteunen.
Het bedrijf beschikt over volwassen vuurverwerkingsproductielijnen en een R&D-team, waaronder productielijnen voor de verwerking van kwartsbuizen met grote diameter, productielijnen voor kwarts instrumenten, productielijnen voor kwartsboten, productielijnen voor fotovoltaïsche halfgeleider lasonderdelen, enz. Het bedrijf is ook uitgerust met een complete set koudverwerkingsapparatuur.
Voor de productielijnen voor de verwerking van kwartsbuizen met grote diameter kan het bedrijf een maximale diameter van OD 1000 mm maken, lengte 5000 mm. De diameter tolerantie kan het beste +/-0,2 mm zijn, vlakheid is +/-0,2 mm.
De belangrijkste toepassing van kwartsbuizen met grote diameter is:
1. De halfgeleiderindustrie:
Bij de chipfabricage zijn kwartsbuizen de belangrijkste verbruiksartikelen voor processen zoals diffusie, oxidatie en uitgloeien.
· Horizontale diffusie-oventubes: Dit is de meest klassieke toepassing. Kwartsbuizen met grote diameter dienen als reactiekamer en siliciumwafers worden in de buizen geplaatst. Onder hoge temperatuuromstandigheden worden speciale gassen (zoals zuurstof, stikstof, argon, enz.) geïntroduceerd om thermische oxidatie uit te voeren om een siliciumdioxide laag te vormen, of om onzuiverheden te introduceren om de elektrische eigenschappen van het silicium te wijzigen. De diameter van de oventubes moet groot genoeg zijn om de "kwartsboot" te herbergen die een groot aantal siliciumwafers draagt.
· Verticale buisoven: Met de vooruitgang van de technologie is het verticale proces de mainstream geworden. Hier dienen kwartsbuizen met grote diameter als proceskamers en worden siliciumwafers verticaal in de buizen geplaatst voor processen zoals LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) en diffusie. Deze processen stellen extreem hoge eisen aan de rondheid, verticaliteit en intrinsieke kwaliteit van de kwartsbuizen.
![]()
2. Fotovoltaïsche industrie (fabricage van zonnecellen)
Net als in de halfgeleiderindustrie wordt het gebruikt voor de fabricage van zonne-kwaliteit kristallijne siliciumcellen.